高速小型复合分子泵

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　　1、成果名称

　　高速小型复合分子泵。

　　2、成果简介

　　分子泵是科学仪器的关键功能部件，为仪器提高洁净的超高真空环境，具有抽气性能高、气氛洁净、可连续工作等优点。随着科学技术的迅速发展，科学仪器对分子泵的体积、抽气性能、振动、噪声和可靠性等提出了严苛的要求。目前，仪器专用的小型复合分子泵被国外少数公司垄断，价格高、供货周期长，严重制约了国产仪器的可持续发展。在国家重大科学仪器设备开发专项的资助下，中物院六所联合国内优势高校和专业仪器开发企业，组建了一流的技术研发队伍，攻克了无位置传感器高速永磁电机驱动、柔性转子高速稳定性控制、陶瓷球轴承延寿等关键技术，研制了无位置传感器高速永磁电机控制器、粘弹性减振垫、陶瓷球轴承微油润滑组件等关键部件，开发了DN63型、DN40型和多口型复合分子泵样机。经过第三方测试，综合性能达到国际先进水平。在多家仪器厂家进行了运行试验，真空度、稳定性、振动和噪声等指标均满足应用要求，可以替代进口产品。　　

　　3、技术特征

　　1.  转速高，分子泵工作转速最高可达90000转/分钟，强大抽气性能的保障；

　　2.  永磁轴承-陶瓷球轴承混合支承，动叶轮运转稳定，振动小、噪声低；

　　3.  超高速无位置传感器永磁电机，独有的控制策略，升速快、转速稳；

　　4.  整体动叶轮，结构紧凑、无装配应力；

　　5.  严苛的装配环境，完备的恒温、恒湿、洁净装配间；

　　6.  严格的质量保障体系，每台泵和控制器都满速运行检测；

　　7.  与仪器无缝集成，分子泵的启停、调速、状态监测等可由仪器控制。

　　4、在国产仪器上应用　　

　　　　（安徽皖仪 高性能氦质谱检漏仪）