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高速小型复合分子泵

文章来源:院军转民发展部   时间:2018-5-7 15:01:00 访问数:

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  1、成果名称

  高速小型复合分子泵。

  2、成果简介

  分子泵是科学仪器的关键功能部件,为仪器提高洁净的超高真空环境,具有抽气性能高、气氛洁净、可连续工作等优点。随着科学技术的迅速发展,科学仪器对分子泵的体积、抽气性能、振动、噪声和可靠性等提出了严苛的要求。目前,仪器专用的小型复合分子泵被国外少数公司垄断,价格高、供货周期长,严重制约了国产仪器的可持续发展。在国家重大科学仪器设备开发专项的资助下,中物院六所联合国内优势高校和专业仪器开发企业,组建了一流的技术研发队伍,攻克了无位置传感器高速永磁电机驱动、柔性转子高速稳定性控制、陶瓷球轴承延寿等关键技术,研制了无位置传感器高速永磁电机控制器、粘弹性减振垫、陶瓷球轴承微油润滑组件等关键部件,开发了DN63型、DN40型和多口型复合分子泵样机。经过第三方测试,综合性能达到国际先进水平。在多家仪器厂家进行了运行试验,真空度、稳定性、振动和噪声等指标均满足应用要求,可以替代进口产品。  

高速小型复合分子泵

  3、技术特征

  1.  转速高,分子泵工作转速最高可达90000/分钟,强大抽气性能的保障;

  2.  永磁轴承-陶瓷球轴承混合支承,动叶轮运转稳定,振动小、噪声低;

  3.  超高速无位置传感器永磁电机,独有的控制策略,升速快、转速稳;

  4.  整体动叶轮,结构紧凑、无装配应力;

  5.  严苛的装配环境,完备的恒温、恒湿、洁净装配间;

  6.  严格的质量保障体系,每台泵和控制器都满速运行检测;

  7.  与仪器无缝集成,分子泵的启停、调速、状态监测等可由仪器控制。

  4、在国产仪器上应用  

高速小型复合分子泵  高速小型复合分子泵

    (安徽皖仪 高性能氦质谱检漏仪)  高速小型复合分子泵

    (杭州聚光色谱-质谱联用仪GC-MS  

高速小型复合分子泵  

  质量范围10650amu  

高速小型复合分子泵

  (钢研纳克 电感耦合等离子体质谱仪ICPMS300  

高速小型复合分子泵

    质量范围2255amu

  

  

  

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